מהו מסנן ULPA? איך זה שונה מ-HEPA, והיכן הוא באמת שייך

מסנן ULPA הוא מסנן אוויר -חדיר נמוך במיוחד המסווג תחת EN 1822 Group U. מגבלות המעמד הן:

•U15: יעילות אינטגרלית גדולה או שווה ל-99.9995%

•U16: יעילות אינטגרלית גדולה או שווה ל-99.99995%

•U17: יעילות אינטגרלית גדולה או שווה ל-99.999995%

זה צד הסיווג הפורמלי. בשוק, תראה גם מוצרי ULPA המתוארים כ-99.9995% ב-0.1–0.2 מיקרומטר או בסביבות 0.12 מיקרומטר, במיוחד במוצרי פאנל לחדר נקי המיועדים לאלקטרוניקה. לדוגמה, מוצר ULPA עם בורון נמוך- לשימוש מוליכים למחצה מתפרסם ב-99.9995% @ 0.1–0.2 מיקרומטר, ומדריכי השוואה רבים משתמשים ב-0.12 מיקרומטר כגודל ההתייחסות המעשי לדיונים ב-ULPA.

כאשר קונים שואלים על יעילות מסנן U15, הם בדרך כלל רוצים את הגרסה הקצרה:

•U15 הוא כיתת ULPA הכניסה

• לפי EN 1822, הוא מדורג ביעילות אינטגרלית של 99.9995%.

• בספרות המוצר, הוא מתואר לעתים קרובות סביב ביצועים של 0.1-0.2 מיקרומטר

•הוא יושב מעל H14 ביעילות הסינון ובדרך כלל מעל H14 גם בהתנגדות ובעלות הראשונית

המהנדסים שלנו רואים לעתים קרובות שקונים מערבבים שלוש מערכות שונות:

•ISO 16890 / legacy EN 779 עבור מסנני אוורור כלליים

•EN 1822 / ISO 29463 עבור EPA, HEPA ו-ULPA

•מונחי שטח כמו "HEPA רפואי" או "ULPA חדר נקי"

אין להשוות את אמסנן G4, MERV 8 או ePM1אל אפאנל U15כאילו הם שייכים לאותו עץ החלטות. הם לא. ULPA שייכת לצד המסנן המוחלט- של השוק

קל לציין את פער היעילות הבסיסי. החלק הקשה יותר הוא להסביר מה הפער הזה עושה למערכת.

לפי EN 1822:

H13:גדול או שווה ל-99.95%

H14:גדול או שווה ל-99.995%

U15:גדול או שווה ל-99.9995%

U16:גדול או שווה ל-99.99995%

U17:גדול או שווה ל-99.999995%

כלומר אמסנן ULPA לעומת HEPAההחלטה היא לא רק "אוויר נקי יותר". זה בדרך כלל משפיע על:

ירידת לחץ ראשונית

בחירת מאוורר

שימוש באנרגיה של FFU או מודול מסוף

כלכלת מרווחי החלפה

ציפיות דליפות-לבדיקות והסמכה

האם התהליך באמת מרוויח מהחלק האחרון של היעילות

הסחר- הזה מודגם בבירור בקווי מוצרים לחדר נקי מוליכים למחצה. הפאנלים המיקרואלקטרוניים שלהם זמינים בגדלים H14 ו-U15-U17, תוך שימת דגש על ירידת לחץ נמוכה, שחרור גז נמוך במיוחד, והתאמה לחדרים נקיים וציוד מיקרואלקטרוניים. זה ממחיש בעוצמה שברגע שנכנסים לתחום סינון אוויר מוליכים למחצה, הדיון הוא כבר לא רק על סילוק חלקיקים, אלא שיקול מקיף של בקרת חלקיקים, ניקיון ברמה מולקולרית וצריכת אנרגיה.

דרך פשוטה-באנגלית להסתכל על זה

HEPA הוא לעתים קרובות התשובה הנכונה כאשר החדר בנוי סביב בקרת זיהומים, הגנת מוצר או ניקיון גבוה ללא רגישות קיצונית לחלקיקים.

ULPA היא התשובה הנכונה כאשר התהליך רגיש לחלקיקים קטנים יותר, סובלנות נמוכה יותר לפגמים ומטרות לחדר נקי הרבה יותר.

לכן אמירה גורפת כמו "ULPA עדיפה" אינה שימושית. בפרויקטים רבים, ULPA טובה יותר רק אם התהליך יכול להצדיק את תוספת הלחץ והעלות.

זה המקום שבו הלוגיקה של האפליקציה חשובה יותר משפת החוברת.

חדרי ניתוח וחללי בריאות

ASHRAE 170 קובע את קו הבסיס של הסינון לחדרי ניתוח למינימום MERV 16, והוא מחייב במיוחד מסנני HEPA במכשיר מסוף האוויר במקרים מיוחדים או מקרים מסוימים כגון פרוצדורות אורטופדיות, השתלות, נוירוכירורגיה והליכי צריבה ייעודיים. במילים אחרות, הנחיות שירותי בריאות אינן מתייחסות ל-ULPA כאל תשובת ברירת המחדל עבור עיצוב OR סטנדרטי. אפילו במקום שבו נעשה שימוש ב-HEPA, המטרה היא בקרת סיכונים- של זיהום וזרימת אוויר מוגנת על פני שדה הניתוח, לא הגנה על תפוקת-מוליכים למחצה.

אז כאשר קונים אומרים "חדרי ניתוח משתמשים ב-HEPA", זה בדרך כלל הכיוון הנכון. יעד סינון שירותי הבריאות הוא גבוה, אך הוא מונע על ידי בטיחות המטופל ותכנון זרימת אוויר פרוצדורלית, לא על ידי רגישות החלקיקים והמולקולרית של תהליכי פרוס.

מותגי מוליכים למחצה ואלקטרוניקה מתקדמת

מתקני מוליכים למחצה הם עולם אחר. הנחיית המוליכים למחצה של Camfil קובעת ש-Fabs משתמשות בפתרונות סינון מלאים ו-בקרת AMC כדי להוריד ריכוזי חלקיקים ומולקולרים לרמות ISO Class 1 עבור חלקיקים ורמות תת--ppb עבור זיהום מולקולרי באוויר. לוחות לחדר נקי ממוקדים-אלקטרוניקה מוצעים ב-HEPA H14 ו-ULPA U15, U16, U17, במיוחד עבור התעשייה המיקרו-אלקטרונית ועם רכיבים{10}נמוכים במיוחד.

לכן ייצור שבבים מתקדם עובר לעתים קרובות מעבר ל-HEPA ואל ULPA, במיוחד באזורי תהליך קריטיים, סביבות מיני- של כלים, אזורי ליתוגרפיה או חלקים אחרים של היצירה שבהם חלקיקים קטנים יותר וזיהום מולקולרי פוגעים ישירות בתפוקה. דרך מעשית לומר זאת היא זו:

בית החולים מגן על המטופלים והנהלים

ה-chip fab מגן על תפוקה בסף פגמים הדוק בהרבה

אותה מילה: נקי. סף שונה מאוד.

זהו אחד הפרטים שרבים מהרוכשים שאינם-אלקטרוניקה מפספסים.

בחדרים נקיים מוליכים למחצה, לא ניתן להתייחס למסנן כאל קופסה אינרטית. המסנן עצמו יכול להפוך למקור זיהום אם המדיה או הרכיבים יוצאים מחומרי תכשיר לא רצויים או מזהמים מולקולריים.

מחקר משנת 1991 על מיקרו-אלקטרוניקה של סיליקון מצא כי זיהום בורון הנישא באוויר נקשר לזכוכית בורוסיליקט במסנני אוויר חלקיקים בעלי יעילות גבוהה-. דיווחים מאוחרים יותר בתעשייה ציינו שספקי מדיה מסורתיים של זכוכית-פיתחו מוצרי בורון דלי-, ומדיה זו זכתה להסכמה בשוק בתגובה לדרישות מוליכים למחצה.

רקע זה מסביר מדוע מוצרי ULPA מודרניים-מדגישים בנייה-נמוכה של בורון, נטולת דונטים-או-נמוכה במיוחד. מוצר ULPA נוכחי נמוך של-בור עבור יישומי מוליכים למחצה תת--14 ננומטר, קובע כי חומרי סיבי-בורון זכוכית-נמוכים מונעים זיהום בורון-ממסנן, ומזהיר במיוחד שבורון במדיית ULPA סטנדרטית עלול לצאת מהגז בזרימת אוויר{11} גבוהה{11}} ולגרום לאי-טיהור{11}}. Camfil מביאה נקודה דומה מזווית אחרת על ידי קידום רכיבים-נמוכים במיוחד, נטולי סמים בפאנלים של חדר נקי מיקרו-אלקטרוניקה.

אם הפרויקט שלך נמצא ב:

• ייצור פרוסות

•לִיתוֹגְרָפִיָה

• ציפוי / חשיפה פוטו-רזיסט

•אריזה מתקדמת

•כלי מיקרואלקטרוניקה או מיני-סביבות

אז השיחה צריכה ללכת מעבריעילות ULPAוכוללים:

•מדיית בורון נמוכה-

•דופנט-בנייה ללא תשלום

• יציאת גז-נמוכה בגז

•תאימות לאסטרטגיית הבקרה של AMC-

עבור סינון אוויר מוליכים למחצה, זה לא פריט מותרות. זה חלק מהגנה על תהליך.

המהנדסים שלנו מתחילים בדרך כלל עם האפליקציה, לא במחלקת המסנן.

אנו שואלים תחילה ארבע שאלות:

•מהו יעד הניקיון של החדר או אזור התהליך?

•האם התהליך רגיש בעיקר לעומס ביולוגי, לחלקיקים או לזיהום מולקולרי?

•האם המערכת יכולה לספוג את ירידת הלחץ הגבוהה יותר שבדרך כלל מגיעה עם מסננים הדוקים יותר?

•האם הפרויקט הוא בתחום הבריאות/פארמה, או במיקרואלקטרוניקה/מוליכים למחצה?

לאחרונה עזרנו ללקוח בדרום מזרח אסיה שביקש בתחילה U15 לאורך כל הפרויקט מכיוון שהצוות שלו הניח ש"ציון גבוה יותר פירושו בטוח יותר". התברר שרק אזורי התהליך המיקרו-אלקטרוניים הקריטיים זקוקים ל-ULPA. אזורי התמיכה יכולים להישאר על סינון מסוף HEPA-. השינוי הזה קיצץ גם את עומס המאוורר וגם את תקציב הסינון מבלי להחליש את בקרת הסיכונים של התהליך-.

זו בדרך כלל הגישה הנכונה. השתמש ב-ULPA היכן שהוא פותר בעיה אמיתית. אל תפיץ אותו לכל מקום אלא אם כן התהליך באמת זקוק לכך.

לפני שתסיים את המפרט, ודא את הנקודות הבאות:

תקן: EN 1822 / ISO 29463, לא תקני אוורור כלליים-

מחלקה: H13, H14, U15, U16 או U17 על בסיס צורך בתהליך

בסיס יעילות: MPPS ויעילות אינטגרלית שפורסמה

ירידת לחץ ראשונית: מותאמת למאוורר, ל-FFU או למודול המסוף

יישום: ניתוח / בריאות, פארמה, מוליכים למחצה או סביבת כלים

סיכון מדיה: חומרי זכוכית רגילים, חומרי זכוכית דלי-בורון, או חומרי ממברנה נטולת-סימוט

בנייה: רכיבי גז-נמוכים אם משתמשים בהם בסביבות אלקטרוניקה

בדיקת דליפות: סריקה-נבדקת בנפרד היכן שהיישום נדרש