מהו מסנן ULPA? איך זה שונה מ-HEPA ולאן כל אחד שייך

מסנן HEPA תחת EN 1822 מתייחס בדרך כלל ל-H13 או H14. מסנן ULPA מתייחס ל-U15, U16 או U17. הקפיצה מ-H14 ל-U15 נראית קטנה על הנייר, אבל במונחי חדירה מדובר בצעד גדול. H14 מאפשר חדירה כוללת מקסימלית של 0.005%, בעוד U15 מפחית את זה ל-0.0005%. כלומר הפחתה של 10× בחדירה המותרת.

זה הדבר הראשון שקונים צריכים לזכור:

•H14=HEPA

•U15-U17=ULPA

•בסיס הבדיקה הוא MPPS, לא רק הצהרה שיווקית פשוטה של ​​0.3 מיקרומטר

יעילות גבוהה יותר פירושה בדרך כלל בקרת זיהום הדוקה יותר, אך גם יותר רגישות מערכת לתכנון זרימת אוויר וירידה בלחץ

דרגות יעילות EN 1822

לפי EN 1822, מחלקות היעילות הגבוהה-הנפוצות הן:

•H13: גדול או שווה ל-99.95% יעילות כוללת

•H14: גדול או שווה ל-99.995% יעילות כוללת

•U15: גדול או שווה ל-99.9995% יעילות כוללת

•U16: גדול או שווה ל-99.99995% יעילות כוללת

•U17: גדול או שווה ל-99.999995% יעילות כוללת

אותה טבלת מחלקה כוללת גם מגבלות יעילות/חדירה מקומיות, שחשובות כאשר סריקת דליפות היא חלק מדרישת הקבלה.

כאן מתחיל הבלבול.

בשוק, גליונות נתונים רבים של ULPA עדיין מתארים את הביצועים כ-99.9995% ב-0.12 מיקרומטר. ספרות המוצר של AAF עושה זאת ישירות עבור מודולי ULPA ומסנני קופסאות. הניסוח הזה עדיין נפוץ ומוכר למהנדסים רבים. אבל היגיון הסיווג הפורמלי לפי EN 1822 / ISO 29463 מבוסס על בדיקות MPPS. כלומר הדרך הבטוחה ביותר להשוות בין מוצרים היא:

•בדוק קודם את השיעור: H14, U15, U16, U17

•אשר את תקן הבדיקה: EN 1822 / ISO 29463

•לאחר מכן סקור כיצד הספק מציין את היעילות הנמדדת בגיליון הנתונים

מה באמת המשמעות של קפיצת U15

המהנדסים שלנו רואים לעתים קרובות קונים מטפליםU15בתור "רק קצת יותר טוב מ-H14." זה יותר טוב מזה. החדירה הכוללת המותרת יורדת במקום עשרוני אחד. במונחים של חדר נקי, זה חשוב כאשר התהליך כבר נלחם ברמת הפגם, לא רק ברמת -נוחות החדר.

שירותי בריאות וחדרי ניתוח: המטרה היא בקרת זיהומים, לא תפוקת רקיק

בתכנון שירותי בריאות, הדאגה העיקרית היא שליטה בסיכון זיהומי מוטס, זיהום-כירורגי באתר, יחסי לחץ וזרימת אוויר נקייה על האזור הקריטי. הנחיות שירותי הבריאות של ASHRAE קובעות זאתמסנני HEPA נדרשים לפי תקן 170 רק עבור חדרי סביבה-מגנים, לא בכל תחום שירותי בריאות. עבור חדרי ניתוח, הדגש הוא על מערך מפזר האספקה, דפוס זרימת האוויר ולחץ החדר. זו הסיבה שבדרך כלל מתרכזים דיוני הבריאותHEPA, לא ULPA.

ישנם מוצרי בריאות המציעים ביצועי ULPA אופציונליים. ספרות האוורור של-ההפעלה של Camfil מזכירה מסנני ULPA אופציונליים עבור מערכות מסוימות. אבל זה לא משנה את הכלל הרחב יותר:מדד הבריאות הסטנדרטי הוא סינון בדרגת HEPA-, בעוד ש-ULPA הוא מקרה מיוחד, לא תשובת ברירת המחדל.

חדרי נקי מוליכים למחצה שונים. הנחיית המוליכים למחצה של Camfil מתארת ​​יצרנים המכוונים לרמות החלקיקים ISO Class 1 יחד עם בקרה קפדנית על זיהום מולקולרי מוטס (AMC). זה גם מדגיש את השימוש במסנני HEPA ו-ULPA ביישומים כגון ליתוגרפיה, תחריט, דיפוזיה, מתכת, השתלת יונים, כלי בדיקה ואחסון רשתות או רקיקות. MANN+HUMMEL מתארת ​​גם מערכות FFU לחדרים נקיים באמצעות אלמנטים H14 עד U17.

זו הסיבה שקוני מוליכים למחצה עוברים לעתים קרובות מ-HEPA ל-ULPA:

•גדלים של חלקיקים קריטיים קטנים יותר

אובדן התשואה קשור ישירות לזיהום ננומטרי

•כלים ומיני-סביבות זקוקות לעתים קרובות לשליטה הדוקה יותר מהמוצרים שמסביב

• זיהום מולקולרי באוויר חשוב לצד חלקיקים

כלל פשוט:
•אם החדר מגן על זרימת עבודה של מטופל וצוות, HEPA הוא בדרך כלל נקודת ההתייחסות.
•אם החדר מגן על רקיק, מסכה, רשת או כלי תהליך מתקדם, ULPA הופכת הרבה יותר נפוצה

לא. לא אוטומטית.

פילטר טוב יותר על נייר הוא לא תמיד הבחירה ההנדסית הטובה יותר בתחום.

קונים צריכים גם להשוות:

• התנגדות ראשונית

• ירידת לחץ סופית מותרת

• קיבולת מאוורר ועלות אנרגיה

•אחידות זרימת אוויר

•איטום וסריקה-דרישות הבדיקה

• התנהגות יוצאת דופן

• סכנת יישום אם המסנן נסתם מהר יותר או מאלץ עיצוב מחדש של מערכת האוויר

המהנדסים שלנו רואים לעתים קרובות את ULPA שצוין היכן H14 היה עומד בדרישת התהליך האמיתית עם התנגדות מערכת נמוכה יותר ועלות תפעול נמוכה יותר. גם הטעות ההפוכה מתרחשת: HEPA מועתק ל-RFQ של מוליכים למחצה או מיקרו-אלקטרוניקה פשוט כי זה המונח המוכר יותר. אף קיצור דרך אינו שיטות רכש טובות.

כל הזמן מתעלמים מהנקודה הזו.

בסביבות מוליכים למחצה ומיקרו-אלקטרוניקה, הבעיה היא לא רק חלקיקים. זה גם שחרור מולקולרי מהפילטר עצמו. קמפיל טוענת שמגוון מסנני המוליכים למחצה שלה נועד להגן על מסנני HEPA מבלי לשחרר בורון, ומוצרי ה-HEPA/ULPA שלה לשימוש מוליכים למחצה מיועדים ליציאת גזים נמוכה מאוד. AAF מעלה את אותה נקודה מהצד של המיקרו-אלקטרוניקה, וקובע שחומרי מסנן-חסרי בורון ואינרטיים מבחינה כימית מגבילים- גז שעלול לפגוע במיקרו-אלקטרוניקה. Hollingsworth & Vose מתארים גם את מדיית המיקרו-זכוכית הנמוכה-של בורון כמתוכננת עבור חדרים נקיים עם מוליכים למחצה.

בייצור מוליכים למחצה, זיהום עקבות אינו תיאורטי. זיהום מולקולרי הנישא באוויר ושאריות כימיות עלולים להשפיע על משטחי פרוסות, אופטיקה וכלי תהליך. קמפיל מציינת במפורש שתגובות לא רצויות המערבות חומצות, בסיסים, חומרים אורגניים, עקשן, וסמיםיכול ליצור פגמים ולהפחית את יעילות הציוד. בורון הוא מרכיב דונט בעיבוד מוליכים למחצה, כך ששחרור בורון בלתי מבוקר מחומרים בנתיב האוויר הוא בדיוק מסוג הדברים ש-Fabs מנסים להימנע מהם.

זו הסיבה שקונים בתחום האלקטרוניקה מבקשים לעתים קרובות:

•נמוך-בורוןכְּלֵי תִקְשׁוֹרֶת

•יציאת גז- נמוכהדבקים ורכיבים

•מודולי ULPA או- HEPA/ULPA מתקדמים שנבנו במיוחד עבור מיקרואלקטרוניקה

מסנני חדר נקי המותאמים לסביבות ליטוגרפיה, תחריט, סרט דק או כלי בדיקה

זה חשוב. מדיית סינון בורון נמוכה- אינה נחוצה בכל חדר נקי.

זה הופך להיות חשוב כאשר:

התהליך הוא מוליכים למחצה או מיקרואלקטרוניקה

הקונה מנהל את AMC והוצאת חומרי גז

למפעל או ליצרן הכלים יש מפרט קשיח לגבי ניקיון כימי

העלות של עקבות זיהום היא גבוהה ביותר

עבור חדרי תרופות רבים, בתי חולים או חדרי נקיים תעשייתיים סטנדרטיים, ייתכן שדרישה זו לעולם לא תופיע ב- RFQ.

1. השוואת HEPA ב-0.3 מיקרומטר ל-ULPA ב-0.12 מיקרומטר מבלי לבדוק את התקן

זוהי השוואה בין-תפוחים לתפוזים{{1}, אלא אם כן תאשר את בסיס הבדיקה והמעמד המוצהרים. סיווג EN 1822 / ISO 29463 בנוי סביב MPPS.

2. ציון ULPA כי זה "נשמע בטוח יותר"

יעילות גבוהה יותר אינה שדרוג חינם אם המערכת אינה יכולה לספוג את ירידת הלחץ או אם התהליך אינו זקוק לה.

3. התעלמות מהגזמה וניקיון כימי באלקטרוניקה

ביישומי מוליכים למחצה, החומרים של המסנן עצמו חשובים. בנייה נמוכה-בורון וירידה-נמוכה בגז יכולה להיות חשובה כמו דרגת היעילות.

4. כתיבת "פילטר ULPA" ב-RFQ ללא מחלקה

יש לומר בקשת בקשה רציניתU15, U16 או U17, בתוספת תקן הבדיקה והגודל.